Ⅰ. Предназначение данного оборудования
Данное оборудование в основном предназначено для двухсторонной точной обработки шлифования кремниевой пластины размером менее 6 дюймов, также предназначено для двухсторонней обработки шлифования кварцевого кристалла, драгоценного камня, стекла, керамической пластины и других жестких хрупких материалов.
Ⅱ.Главные параметры
1. Размер шлифовального круга: φ1355мм×φ792мм×50мм.
2. Параметры кассеты: Z=162 DP=12 a=20°.
3. Количество кассеты: 9 шт;
4. Максимальный диаметр шлифования: φ300мм.
5. Минимальная толщина шлифования: 0.50 мм;
6. Максимальная толщина шлифования: 30 мм;
7. Скорость оборотов нижнего шлифовального круга: 0-60 rpm;
8. Главный электродвигатель: 11 KW, АС 380V, 1450 rpm;
9. Электродвигатель солнечного колеса: 1.5 KW, АС 380V, 1440 rpm.
10. Электродвигатель внутреннего зубчатого венца: 4 KW, АС 380V, 1440 rpm.
11. Источник газа: 0.5-0.6 МРа;
12. Габаритный размер (Длина*Ширина*Высота): 2650 мм*1920мм*2770 мм;
13. Масса: около 7700 кг.
Ⅲ.Точность главной машины
1.Торцовое биение нижнего шлифовального круга: 0.08 мм;
2. Ровность верхнего и нижнего шлифовального круга: 0.02 мм.
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.10 мм;
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.18 мм.
Ⅳ.Точность обработки(после корректировки четырёх исправляющих колесов )
1. Однородность: 0.008 мм;
2. Ровность: 0.004 мм;
3. Параллельность: 0.006 мм.


В нижеследующем описание станка на английском языке:

X61 1355B-1 Double-sided Lapping Machine

Application:
This machine is mainly used for accurately lappingsilicon wafers on both sides with diameter up to 6", as well as of quartz crystal wafers, precious stone, glass, ceramics and other hard and fragile flat materials.
Main features:
1． Equipped with frequency converters and asynchronous motors. Soft start and soft stop. Smooth speed regulation. Low impact.
2． Equipped with 3 motors. With wide speed regulation. The equipment can meet the demand on lapping different materials and different lapping techniques.
3． Elevating sun gear and inner gear synchronously. It is easy to load or unload work-pieces and match carriers’ position of engagement.
4． The upper and lower plates are driven with bevel gears. The machine runs smoothly.
5． Closed-loop feedback control system makes sure the accurate pressure on the work-pieces.
6． Equipped with Human-computer interface (PT) display and PLC control. It can display the running status of the machine. Inputting running parameters through touch panel is allowed.
7． Compulsory central lubrication. Every relative movement surface, gear meshing position and chain wheel all could be lubricated fully, and this improves the using life of the machine greatly.
8． “Floating” upper lapping plate structure.
Main specifications：
1． Dimensions of plates:
Lapping plates: φ1355mm×φ792mm×50mm
2． Carrier specifications: Z=162 DP12 a=20°
3． Carrier quantity: 9
4． Diameter of work-piece (max.): φ300mm
5． Thickness of work-piece (min.): 0.50mm
6． Thickness of work-piece (max.): 30mm
7． Rotation speed of lower lapping plate: 0 ~ 60rpm
8． Main motor:
Lapping machine: 11kW 380V 1450rpm
9． Sun gear driving motor:
Lapping machine: 1.5kW 380V 1440rpm
10． Inner driving motor:
Lapping machine: 4kW 380V 1440rpm
11． Air source: 0.5 ~ 0.6MPa
12． Machine dimensions(L×W×H): 2650mm×1920mm×2770mm
13． Machine weight: about 7700kg
Machine accuracy:
1. End face run-out of lower plate: 0.08mm
2. Flatness of the plates: 0.02mm
3. Diameter run-out of sun gear: 0.10mm
4. Diameter run-out of inner gear: 0.18mm
Processing accuracy (after conditioning):
1. Thickness variation of work-pieces: 0.008mm
2. Flatness of work-pieces: 0.004mm
2. Parallelism of work-pieces 0.006mm
Machine Capacity:
1. One-carrier capacity: 6 pieces for ф150mm or 8 pieces for ф125mm
2. Total capacity: 30 pieces for ф150mm or 40 pieces for ф125mm