СДЕЛАТЬ СТАРТОВОЙ | ДОБАВИТЬ В ИЗБРАННОЕ  
Тел:+86-13324002782
ГЛАВНАЯ О КОМПАНИИ ОБОРУДОВАНИЯ ПРОДУКЦИЯ ДОСТАВКА КОНТАКТ
ГЛАВНАЯ >> ПОКАЗЫВАЕТ
Полировальный станок марки X62 305-2

автор:admin время:2016/3/6 читать:1060 раз 【шрифты:большой в маленький



Ⅰ. Предназначение оборудования
Данный станок применяется для односторонней полировки с высокой точностью на кремниевые пластины, германиевые пластины, пластины арсенида каллии, пластины ниобаталития, сапфиры и другие пластинчатые материалы.
Ⅱ. Главные технические параметры
1. Диаметр нижнего полировального круга: φ820mm .
2. Диаметр несущего круга: φ305mm
3. Количество полировальной головки: 4 шт.
4. Диаметр цилиндра: φ140mm.
5. Ход подъема и спуска полировальной головки: 180 мм.
6. Вес полировальной головки(включая вес поршня, стержня поршня и несущего круга) : около 53 кг.
7. Сфера регулирования давления воздуха при работе цилиндра: 0--0.15MPa.
8. Сфера контроля температуры ультракрасного прибора для измерения температуры: 0-100℃.
9. Сфера установления времени в этапх полировального процесса:
Первый этап (легко полировать): 0---9999S.
Второй этап (главно полировать): 0---9999S
Третий этап (полировать водой): 0---9999S
10. Максимальный диаметр полированного изделия: φ300mm.
11. Подходящий диаметр полированной кремниевой пластины: φ50- φ100mm.
12. Главный электродвигатель: 11KW 380V 50Hz.
13. Электродвигатель жидкого насоса: 370W.
14. Приводной электродвигатель полировальной головки: 4x0.75KW.
15. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0-80rpm(регулирование частоты и скорости).
16. Скорость оборотов полировальной головки: 0-63rpm(регулирование частоты и скорости)
17. Электропитание: трёхфазное, 380V±10%.
18. Габаритный размер оборудования: 1950x1150x2150mm.
19. Масса оборудования: около 3000 кг.
Ⅲ. Способность обработки
Несущая способность на единицу: 5 шт (4〃) 8 шт(3〃)
Несущая способность на целый круг: 20 шт (4〃) 32 шт(3〃)
В нижеследующем описание станка на английском языке:
X62 305-2 Single-sided Polishing Machine
Application
The machine is mainly used for single-sided polishing of silicon wafers, germanium wafer, gallium arsenide, lithium niobate, sapphire with diameter up to 100mm, as well as other flat materials.
main feature
 Equipment with four polishing heads to drive, frequency speed control, running smooth, using reliably and operating convenience.
 Frequency speed control for polishing plate rotation, smooth start and stop.
 Circulated water cooling for the polishing plate, the inner structure of the cooling has been improved obviously.
 The polishing plate adopts infrared thermometer, temperature measurement and control.
 Polishing process includes three steps (automatically switch over to the next step)
Step 1: Slurry feeds and pressure on wafers is the weight of polishing head minus inverted pressure.
Step 2: Slurry feed and pressure on the wafers is the weight of polishing head plus barotropic pressure, then minus inverted pressure.
Step 3: deionized water flows and polishing pressure is the same as step 1.
 Equipped with watering nozzle.
 Wafer-holding plate is made of alumina ceramics
 The up or down or pressuring of the four polishing heads are controlled by master switch control value and accurate reducing value seperately.
 Adopting worm reducer transmission, four polishing heads adopt four deceleration motors to drive.
Main Specifications:
 Down polishing plate diameter: φ820mm
 Wafer-holding plate: φ305mm
 Polishing head quantity: 4
 Diameter of pneumatic cylinder: φ180mm
 Vertical of polishing heads stroke: 150mm
 Polishing head weight(including piston, piston-pole, wafer-holding plate) about 53Kg
 The air pressure range of the cylinder: 0--0.15MPa
 Infrared thermometer: 0-100℃
 Polishing process time set:
Step 1 (light polishing) 0---9999S
Step 2 (main polishing) 0---9999S
Step 3 (water polishing) 0---9999S
 Diameter of work-pieces (max.): φ300mm
 Preferred diameter of work-pieces: φ50- φ100mm
 Main motor: 11KW 380V 50Hz
 Pump motor: 370W
 Polishing head drive motor: 4x0.75KW
 Down polishing plate speed 0-80rpm
 Polishing head speed 0-63rpm
 Power three-phase 380V±10%
 Machine dimensions (L×W×H): 1950x1150x2150mm
 Machine weight: about 3000kg
Machine capacity
One polishing head capacity: 5 pieces of 4 inch or 8 pieces of 3 inch.
Total capacity: 20 pieces of 4 inch or 32 pieces of 3 inch.
 
Печать BenYe || Закрой окно
 
ссылка:www.stanki-portal.ru 〡 www.shantui-china.ru 〡 
copyright:ООО “Шэнжун” © www.shengrong-vacuum.ru
Почтовый адрес: Китай, 114000, провинция Ляонин, г. Аньшань, ул. Цяньцзинь, район Тедун, дом 26, этаж 14, оф. 127.
Мария Макарова Тел: +86-13324002782 Skype:hrt-888 Электронная почта: hrt-888@mail.ru
Соня Ивановна Тел: +86-13614121194 Skype:4125421858@mail.ru Электронная почта:4125421858@mail.r u ICQ:13614121194 618-277-890 Инна Чжан What`s APP/ We Chat: +8613841239378 E-mail: China13841239378@yandex.ru 13841239378@mail.ru
 
Разговор
4125421858@mail.ru