Ⅰ. Предназначение данного оборудования
Данное оборудование в основном предназначено для двухсторонней точной обработки шлифования кремниевой пластины размером мнее 8 дюймов, также предназначено для двухсторонней обработки шлифования кварцевого кристалла, драгоценного камня, стекла, керамической пластины и других жестких хрупких материалов.
Ⅱ. Главные технические параметры
1. Размер шлифовального круга: φ1456мм×φ488мм×50мм;
2. Параметры кассеты: Z=138, M=4, α=20 градусов;
3. Количество кассеты: 5 шт;
4. Максимальный диаметр шлифования: Ф470 мм;
5. Минимальная толщина шлифования: 0.40 мм;
6. Максимальная толщина шлифования: 30 мм;
7. Скорость оборотов нижнего шлифовального круга: 0-60 rpm;
8. Главный электродвигатель: 15kW AC380V 1450rpm.
9. Электродвигатель солнечного колеса: 1.5kW AC380V 1440rpm.
10. Электродвигатель внутреннего зубчатого венца: 4kW AC380V 1440rpm.
11. Источник газа: 0.5-0.6 МРа;
12. Габаритный размер (Длина*Ширина*Высота): 2700 мм*2050 мм*2780 мм;
13. Масса: около 8000 кг.
Ⅲ.Точность главной машины
1. Торцовое биение нижнего шлифовального круга: менее 0.08 мм;
2. Ровность верхнего и нижнего шлифовального круга: менее 0.02 мм.
Ⅳ. Способность обработки
1. Несущая способность на единицу: 11 шт/Ф100 мм, 9 шт /Ф125 мм, 7 шт/Ф150 мм, 4 шт/Ф200 мм.
2. Несущая способность на целый круг: 55 шт/Ф 100 мм, 45 шт/Ф125 мм, 35 шт/Ф150 мм, 20 шт/Ф200 мм.


В нижеследующем описание станка на английском языке:

X62 1456B3M-6PT Double-sided Lapping Machine

Application:
This machine is mainly used for accurately lapping silicon wafers on both sides with diameter up to 8", as well as of quartz crystal wafers, precious stone, glass, ceramics and other hard and fragile materials.
Main features:
1. This machine uses three motors jointing dragging mode. The speed proportion of three motors could be seen on the screen of HMI terminal and could be adjusted according to the processing requirments. This meets the different technics requirments of different user.
2. This machine uses Programmable Logic Controller (PLC) and Programmable Treminal(PT) display, sets various working parameter (such as: pressure, time, speed, pressure of low fall and floating time) and working condition(through touching the screen) and changes the programming control procedure and operating screen according to requirments of user technics.
3. Pressure control during lapping makes a closed-loop feedback control using Pneumatic Proportional Valve and Load Detector. Pressure could be controled line-likely, and control could be accurate.
4. This machine could set twelve technics processing procedures according to user requirments. User could set twelve different technics parameter (such as: pressure, time, speed, speed ratio, pressure of low fall, floating time) for operator adjusting.
5. Main purchase spare parts are imported, insuring the high indicator of each function.
6. The expandability is very convenient, and it could be mating with any lapping moving thickness controller all over the world.
7. Lapping plates are driven by bevel gear, and this makes the machine run smoothly. The machine also has automatic focus lubrication set, meeting the user’s requirments of auti-maintaining.
Main specifications：
1． Dimensions of lapping plates (outer dia.×inner dia.×thickness): ф1456mm×ф488mm×50mm
2． Carrier specifications: Z=138 M=4 α=20°
3． Carrier quantity: 5
4． Diameter of work-piece (max.): ф470mm
5． Thickness of work-piece (min.): 0.40mm
6． Thickness of work-piece (max.): 30mm
7． Rotation speed of lower lapping plate: 0 ~ 60rpm
8． Main motor: 15kW AC380V 1450rpm
9． Sun gear driving motor: 1.5kW AC380V 1440rpm
10． Ring gear motor: 4kW AC380V 1440rpm
11． Air source: 0.5 ~ 0.6MPa
12． Machine dimensions(L×W×H): 2700mm×2050mm×2780mm
13． Machine weight: about 8000kg
Machine accuracy:
1. End face run-out of lower plate: 0.08mm
2. Flatness of lapping plates: 0.02mm
Machine Capacity:
1. One-carrier capacity: 11 pieces for ф100mm or 9pieces for ф125mm or 7pieces for ф150mm or 4pieces for ф200mm
2. Total capacity:55 pieces for ф100mm or 45pieces for ф125mm or 35pieces for ф150mm or 20pieces for ф200mm